セラミックスの硬脆性という特性は、加工表面に微細クラックを生じ、これが信頼性低下の原因となるといわれている。セラミックスを構造材として活用するならば、いかに優れた加工表面を形成するかが重要となる。そこで研削砥石の粒度、研削速度、送り速度等、研削条件を変えた場合の表面あらさと曲げ強さの関係、曲げ強さのワイブル係数よりセラミックス材料（アルミナ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア）の信頼性について調査した。