大阪支所に新設された走査型電子顕微鏡は試料に対して電子銃より発射された電子線の二次電子、または反射電子を検出器により検出し、テレビジョンと同様の走査技術を用いて、ブラウン管のけい光面上に像を結ばせて、表面状態を観察するもので、光学顕微鏡より分解能が優れ、焦点深度が深く、めっき、塗装、陽極酸化被膜および、これらの表面処理の下地素材などの表面観察、金属材料の組織、被面、表面状態の観察が行える。また、分散型分光器を設置することにより、これらの材料等の微少領域の成分元素の定性分析、定量分析もできる。