技研技術第1部に新設した分散形X線分光器は3種類の分光結晶と1個のX線検出器を備え、試料に垂直に入射した電子プローブによって発生したX線を30度の角度で取出し、分光結晶により分光するものである。この分散形X線分光器を既設の走査電子顕微鏡および分散形X線分光器（チャンネル1）に付設したことにより、従来検出不可能だったN、O、Na、Mg、Alの軽元素側の分析が可能となり、また既設のX線分光器と組合わせて使用することによって、B（5）－U（92）まで2元素同時に定量分析も可能となった。