超音波加工法は、電気的エネルギーを機械的振動（超音波）エネルギーに変換して直接加工を行うもので、その特徴は、非常に加工困難な超硬質脆材料に、表面外観、物理的、化学的、電気的、磁気的ならびに治金学的になんらの影響を与えず、また電気的の導体、不良導体の別を問はずに加工することが可能であることである。加工範囲は、タングステンカーバイド、焼入鋼、ゲルマニウム、ルビー、メノー、ダイヤモンド、水晶、硝子、陶磁器等非常に広い。機械は、高周波発振器、振動子部、加工物保持部、研磨材供給部その他付属部よりなる。