試験方法概要

走査電子顕微鏡(SEM)は、波長の短い電子線を利用して、数nm[10億分の1m]程度の構造まで観察できます。
SEM は、光学顕微鏡では観察不可能な微小な表面構造を鮮明に観察することができます。 さらに、焦点深度が深い像が得られます。

図

対応規格

なし

仕様

分解能　4.0 nm(20kV)、倍率　×5～×300,000、試料寸法　最大 150 mm径