大阪支所に新設された波長分散型X線分析装置はX線検出器と4種類の分光結晶を備え、JSM－T330A走査電子顕微鏡に付設することにより、走査電子顕微鏡としての本来の機能を損なうことなく、細く集束した電子プローブを試料の表面に照射し、X線マイクロアナライザとして使用できる。そのとき発生した特性X線の波長と強度を測定することにより、固体表面の微少領域の組成（分析元素、ほう素からウランまで）を定性的および定量的に分析する装置である。